成功した半導体処理は、シリコンウェハの品質に依存します。正確な温度測定は、ウェーハ生産プロセスの品質と歩留まりにとって非常に重要です。
ウェーハ温度の制御が不十分であると、製品が規格外となり、収入損失による大きなコストを招くことがあります。接触方法はプロセスを妨げることがあり、非接触方法はウエハの放射率を考慮する必要があります。
AMETEK ランドは、温度測定ソリューションのリーディングカンパニーです。当社の非接触ソリューションは、半導体生産に必要な非常に無菌な条件を妨げることなく、正確で信頼性の高い結果を提供します。高度な信号処理ソリューションは、放射率や精度に影響を与える可能性のあるその他の要因を補うものです。AMETEK ランドは、半導体処理用アプリケーションとしてCyclops 100Lポータブル温度計を推奨しています。